高純度石英浴

 一般的な製品情報

応用：ヴェテクセム 高純度石英バスは、半導体湿式処理のコア容器であり、高温の強酸に耐えるように特別に設計されています。高純度の石英素材は金属汚染を完全に排除し、1000°C を超える熱衝撃に耐え、ほとんどの酸や塩基に対して長期的な腐食に耐えます。これらは、チップ製造、太陽電池、LED、その他の分野の洗浄およびエッチングプロセスで広く使用されており、プロセスの純度および製品の歩留まりを確保するための基礎となります。

提供できるサービス：顧客アプリケーションのシナリオ分析、材料のマッチング、技術的な問題解決。

会社概要：Semixlab には 2 つの研究所があり、20 年の材料経験を持つ専門家チームがあり、研究開発、生産、テスト、検証の機能を備えています。

技術的パラメータ

極めて純粋な素材

当社はアーク溶解を使用して、SiO2 含有量が常に 99.99% を超える高純度の合成石英ガラスを製造しています。この材料の主な利点は、アルカリ金属 (カリウムやナトリウムなど) や重金属 (鉄や銅など) のバックグラウンド レベルが極めて低いことにあります。これにより、高温の酸性バスで発生する可能性のある表面の析出や汚染が効果的に除去され、重要な洗浄ステップ中に微量不純物からウェーハを保護し、デバイスの電気的性能の信頼性が確保されます。

優れた耐熱衝撃性

合成石英ガラスの極めて低い熱膨張係数と独自のステップアニール処理により、内部応力が完全に除去されます。これにより、浴は室温から 1100°C までの繰り返しの急激な動作温度変動に平静に耐えることができ、熱応力の突然の増加によって引き起こされる亀裂や隠れた損傷を効果的に回避し、偶発的な浴の破損による生産中断やウェーハ損失のリスクを大幅に軽減します。

固有耐食性

高純度石英は、フッ酸、熱リン酸を除くほとんどの強酸（濃硫酸、硝酸、塩酸、王水など）に対して優れた化学的不活性を示します。高温の酸溶液に長時間浸漬しても安定した化学構造と表面状態を維持し、他の材質に比べてはるかに優れた耐食性を発揮します。これにより、製品の寿命が大幅に延長され、頻繁な交換に伴う全体的な運用コストが削減されます。

精密表面処理

すべての内面、エッジ、溶接部には厳密な火炎研磨が施されています。このプロセスでは、微小亀裂や鋭いエッジが除去されるだけでなく、滑らかで緻密で化学的に不活性な表面層も作成されます。この表面は化学残留物と粒子状物質の吸収を効果的に低減し、タンク間の迅速かつ徹底的な洗浄を大幅に促進し、バッチ間の相互汚染のリスクを根本的に軽減します。

エコロジカルチェーン検証の承認

ヴェテクセム 高純度石英バスのエコロジカル チェーン検証は、原材料から製造までをカバーしており、国際規格認証に合格しており、半導体および新エネルギー分野での信頼性と持続可能性を確保するための多数の特許取得済み技術を備えています。

詳細な技術仕様、ホワイト ペーパー、またはサンプル テストの手配については、当社のテクニカル サポート チームにお問い合わせいただき、Veteksemi がどのようにプロセス効率を向上させることができるかを検討してください。