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静電チャック（ESC）とは何ですか？

静電チャック（ESC）とは何ですか？

静電チャック（ESC、E-Chuck）とも呼ばれる静電チャック（ESC）は、静電吸着の原理を使用して吸着材料を保持および固定する備品です。真空およびプラズマ環境に適しています。

SICウェーハキャリアテクノロジーに関する研究

SICウェーハキャリアテクノロジーに関する研究

SICウェーハキャリアは、第3世代の半導体産業チェーンの主要な消耗品として、その技術的特性がエピタキシャルの成長とデバイスの製造の収量に直接影響します。 5Gベースステーションや新しいエネルギー車などの産業における高電圧および高温デバイスの需要が急増しているため、SICウェーハキャリアの研究と適用は現在、重要な開発機会に直面しています。

半導体セラミックコンポーネントで使用されている材料は何ですか？

半導体セラミックコンポーネントで使用されている材料は何ですか？

アルミナセラミックは、セラミックコンポーネントを製造するための「主力」です。それらは、優れた機械的特性、超高融点と硬度、耐食性、強力な化学的安定性、高い抵抗性、および優れた電気断熱を示します。それらは一般に、磨き板、真空チャック、セラミックアーム、および同様の部分を製造するために使用されます。

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