中国炭素繊維、炭化ケイ素セラミックス、炭化ケイ素エピタキシー - VeTek

製品

VeTek は中国の専門メーカーおよびサプライヤーです。当社の工場では、炭素繊維、炭化ケイ素セラミックス、炭化ケイ素エピタキシーなどを提供しています。当社の製品にご興味がございましたら、今すぐお問い合わせください。すぐにご連絡いたします。

多孔質SICセラミックプレート

当社の多孔質SICセラミックプレートは、主成分として炭化シリコンで作られた多孔質セラミック材料であり、特別なプロセスで処理されています。それらは、半導体製造、化学蒸気堆積（CVD）、およびその他のプロセスに不可欠な材料です。

エピタキシー用のSICコーティングされたシーリングリングは、化学蒸気堆積（CVD）によって高純度の炭化シリコン（SIC）でコーティングされたグラファイトまたは炭素炭素複合材料に基づいた高性能シーリング成分です。

当社の高純度クォーツボートは、融合したクォーツ（SIO₂コンテンツ≥99.99％）でできています。極端な環境、低熱膨張係数、および長いライフサイクルに対する優れた抵抗により、半導体および新しいエネルギー産業ではかけがえのない鍵が消費されています。

エッチング用のフォーカスリングは、プロセスの正確性と安定性を確保するための重要なコンポーネントです。これらの成分は、プラズマ分布、エッジ温度、電界の均一性の正確な制御を通じて、ウェーハ表面のナノスケール構造の均一な機械加工を実現するために、真空チャンバーに正確に組み立てられています。

VeteksemiconシングルウェーハEPIグラファイト受容器は、高性能炭化シリコン（SIC）、窒化ガリウム（GAN）、およびその他の第3世代の半導体エピタキシャルプロセス用に設計されており、大衆生産における高精度エピタキシャルシートのコアベアリングコンポーネントです。

Veteksemiconは中国の主要な真空チャックメーカーであり、セラミック真空チャックは、ウェーハとインゴットを正確に吸着および固定化するための高エンド真空吸着デバイスとして機能します。お問い合わせを歓迎します。