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CVD SICコーティングウェーハバレルホルダー
CVD SICコーティングエピタキシー受容者
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高純度SICカンチレバーパドル
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半導体石英画面
Veteksemicon Semiconductor Quartzスクリーンは、金属製の化学蒸気堆積(MOCVD)システムの重要な成分であり、薄膜成長プロセスを最適化する上で重要な役割を果たします。この製品の詳細ページは、MOCVD機器の均一性、純度、およびメンテナンス効率を高めるために設計されたVeteksemiconの高純度の石英画面を強調しています。
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高純度クォーツるつぼ
高純度の四分位数るつぼは、特に非常に高い熱安定性、化学純度、および寸法精度を必要とするアプリケーションでは、高度な半導体製造プロセスに不可欠なコアコンポーネントです。 Veteksemiconは、半導体プロセスの極端な要求を満たすように設計された優れた高純度クォーツのるつぼを提供しています。
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多孔質SICセラミックチャック
Veteksemiconによる多孔質SICセラミックチャックは、エッチング、イオン着床、CMP、検査などの高度な半導体プロセスで安全で粒子のないウェーハ処理用に設計された精密設計真空プラットフォームです。高純度の多孔質炭化物シリコンから製造された、優れた熱伝導率、耐薬品性、および機械的強度を提供します。カスタマイズ可能なポアのサイズと寸法により、Veteksemiconは、クリーンルームウェーハ処理環境の厳しい需要を満たすためにテーラードソリューションを提供します。
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クォーツウェーハボート
クォーツウェーハボートは、半導体、LED、太陽電池、バッテリー製造プロセスに合わせた高純度ウェーハキャリアソリューションです。高温と化学的に攻撃的な環境に耐えるように設計されたこのクォーツボートは、低熱膨張、優れた電気断熱、および長期的な寸法の安定性を特徴としています。拡散、酸化、およびLPCVDプロセスに最適であるため、正確なウェーハアライメントをサポートし、さまざまな機器要件を満たすためにさまざまなサイズで利用できます。
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SICカンチレバーパドル
Veteksemicon sic Cantileverパドルは、水平拡散炉およびエピタキシャル反応器でのウェーハの取り扱い用に設計された高純度の炭化物サポートアームです。例外的な熱伝導率、腐食抵抗、および機械的強度により、これらのパドルは、厳しい半導体環境における安定性と清潔さを保証します。カスタムサイズで利用可能で、長いサービス寿命に合わせて最適化されています。
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sicブロック
VeteksemiconのSICブロックは、シリコンとサファイアウェーハの高効率研削と薄化のために設計されています。優れた熱伝導率(≥120w/m・k)、高い熱衝撃耐性、および優れた耐摩耗性(MOHS≥9)により、ブロックはプロセスの安定性を改善し、ツールの変化頻度を減らします。 120mmから480mmのサイズがあり、カスタマイズされたオプションと、多様な生産ニーズを満たすための迅速な配信があります。
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