ソリッドSiCフォーカスリング

6.主な応用分野

7. VeteksemiソリッドSiCフォーカスリングコアの利点

優れた耐プラズマ腐食性

CF4、O2、Cl2 などの腐食性の高い高密度プラズマに長時間さらされると、従来の材料は急速な摩耗や粒子汚染を受けやすくなります。当社のソリッド SiC フォーカス リングは、石英やアルミナなどの材料に比べて腐食速度がはるかに低く、優れた耐食性を示します。これは、長期間にわたって滑らかな表面を維持し、コンポーネントの磨耗によるウェーハ欠陥のリスクを大幅に軽減し、継続的かつ安定した量産を保証することを意味します。

優れた高温安定性と熱管理性能

半導体のエッチングプロセスでは大量の熱が発生し、チャンバーのコンポーネントに劇的な温度変動が発生します。当社のフォーカス リングは熱膨張係数が非常に低く、亀裂や変形なしに最大 1600°C までの過渡温度に耐えることができます。さらに、固有の高い熱伝導率により、熱が均一かつ迅速に分散され、ウェーハエッジでの温度分布が効果的に改善され、ウェーハ全体にわたるエッチングの均一性と限界寸法の一貫性が損なわれます。

並外れた材料純度と構造密度

当社は炭化ケイ素原料の純度 (99.999% 以上) を厳密に管理し、焼結プロセス中の金属汚染を排除して、微量不純物管理に関する高度な製造プロセスの厳しい要件を満たしています。高温焼結によって形成された緻密な構造は気孔率が極めて低く、プロセスガスや副生成物の浸透をほぼ完全に遮断します。これにより、内部材料の劣化による性能の低下や粒子の成長が防止され、純粋なプロセス チャンバー環境が確保されます。

長寿命の機械的寿命と包括的な費用対効果

頻繁な交換が必要な従来の消耗品と比較して、Veteksemi ソリッド SiC フォーカスリングは優れた耐久性を備えています。耐用年数を通じて安定した性能を維持し、交換サイクルを数倍延長します。これにより、スペアパーツの調達コストが直接削減されるだけでなく、メンテナンスのための装置のダウンタイムが減少することで機械の稼働率が大幅に向上し、その結果、顧客にとって全体的なコスト面で大きなメリットがもたらされます。

正確なサイズ管理と柔軟なカスタマイズサービス

私たちは、消耗品に対するさまざまな機械やプロセスの正確な要件を理解しています。各フォーカス リングは精密機械加工と厳格なテストを経て、重要な寸法公差が ±0.05mm 以内であることが保証されています。また、特定のプロセス要件やアプリケーションシナリオに完全に適合する、カスタムサイズ、表面仕上げ（Ra ≤ 0.2μmまでの研磨）、導電率調整などのカスタマイズサービスも提供しています。

詳細な技術仕様、ホワイト ペーパー、またはサンプル テストの手配については、当社のテクニカル サポート チームにお問い合わせいただき、Veteksemi がどのようにプロセス効率を向上させることができるかを検討してください。