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多孔質炭化物：SIC結晶成長のための新世代の材料18 2024-11

多孔質炭化物：SIC結晶成長のための新世代の材料

VeTek Semiconductor の多孔質タンタルカーバイドは、新世代の SiC 結晶成長材料として、多くの優れた製品特性を備えており、さまざまな半導体処理技術で重要な役割を果たしています。
EPI エピタキシャル炉とは何ですか? - ヴェテック・セミコンダクター14 2024-11

EPI エピタキシャル炉とは何ですか? - ヴェテック・セミコンダクター

エピタキシャル炉の動作原理は、高温高圧下で基板上に半導体材料を堆積することです。シリコンエピタキシャル成長とは、ある結晶方位を持ったシリコン単結晶基板上に、基板と同じ結晶方位で厚みの異なる結晶層を成長させることです。この記事ではシリコンのエピタキシャル成長法である気相エピタキシャル成長法と液相エピタキシャル成長法を中心に紹介します。
半導体プロセス：化学蒸気堆積（CVD）07 2024-11

半導体プロセス：化学蒸気堆積（CVD）

半導体製造における化学気相成長 (CVD) は、チャンバー内で SiO2、SiN などの薄膜材料を堆積するために使用され、一般的に使用されるタイプには PECVD や LPCVD があります。温度、圧力、反応ガスの種類を調整することで、CVD は高純度、均一性、良好な膜被覆率を実現し、さまざまなプロセス要件に対応します。
シリコン炭化物セラミックの焼結亀裂の問題を解決する方法は？ -Vetek半導体29 2024-10

シリコン炭化物セラミックの焼結亀裂の問題を解決する方法は？ -Vetek半導体

この記事では、主に炭化シリコンセラミックの幅広いアプリケーションの見通しについて説明しています。また、炭化シリコンセラミックと対応する溶液の焼結亀裂の原因の分析にも焦点を当てています。
ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？25 2024-10

ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？

エッチング工程の問題点24 2024-10

エッチング工程の問題点

半導体製造におけるエッチングテクノロジーは、製品の品質に影響を与える荷重効果、マイクログルーブ効果、充電効果などの問題にしばしば遭遇します。改善ソリューションには、プラズマ密度の最適化、反応ガス組成の調整、真空システム効率の改善、合理的なリソグラフィレイアウトの設計、適切なエッチングマスク材料とプロセス条件の選択が含まれます。
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