SiCは硬度、熱伝導性、耐食性が高く、半導体製造に最適です。 CVD SiC コーティングは化学蒸着によって作成され、高い熱伝導率、化学的安定性、エピタキシャル成長に適合する格子定数を提供します。低熱膨張と高硬度により耐久性と精度が保証され、ウェーハキャリア、予熱リングなどの用途に不可欠です。 VeTek Semiconductor は、さまざまな業界のニーズに対応するカスタム SiC コーティングを専門としています。
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