業界ニュース

25 2024-11

Fab Factoryにはどのような測定機器がありますか？ -Vetek半導体

ファブファクトリーには多くの種類の測定装置があります。一般的な機器には、リソグラフィプロセス測定機器、エッチングプロセス測定装置、薄膜堆積プロセス測定装置、ドーピングプロセス測定装置、CMPプロセス測定装置、ウェーハ粒子検出装置、その他の測定装置が含まれます。

22 2024-11

TaC コーティングはグラファイト部品の耐用年数をどのように改善しますか? - ヴェテック・セミコンダクター

炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温耐性、耐食性、機械的特性、熱管理能力を向上させることで、グラファイト部品の寿命を大幅に延長します。その高純度特性により、不純物汚染が軽減され、結晶成長の品質が向上し、エネルギー効率が向上します。高温、腐食性の高い環境での半導体製造や結晶成長の用途に適しています。

22 2024-11

半導体フィールドのTACコーティング部品の特定のアプリケーションは何ですか？

炭化物タンタルム（TAC）コーティングは、主にエピタキシャル成長反応器成分、単結晶成長主要成分、高温産業コンポーネント、MOCVDシステムヒーター、ウェーハキャリア、優れた高温抵抗性、腐食抵抗を改善し、エネルギーの質を高め、エネルギーの発生を改善することができます。

21 2024-11

SiC コーティングされたグラファイトサセプタが故障するのはなぜですか? - ヴェテック・セミコンダクター

SiC エピタキシャル成長プロセス中に、SiC でコーティングされたグラファイトサスペンションの破損が発生する可能性があります。この論文は、SiC コーティングされたグラファイトサスペンションの破損現象の厳密な分析を実行します。これには、主に SiC エピタキシャルガス破損と SiC コーティング破損の 2 つの要因が含まれます。