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ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？25 2024-10

ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？

エッチング工程の問題点24 2024-10

エッチング工程の問題点

半導体製造におけるエッチングテクノロジーは、製品の品質に影響を与える荷重効果、マイクログルーブ効果、充電効果などの問題にしばしば遭遇します。改善ソリューションには、プラズマ密度の最適化、反応ガス組成の調整、真空システム効率の改善、合理的なリソグラフィレイアウトの設計、適切なエッチングマスク材料とプロセス条件の選択が含まれます。
ホットプレスされたSICセラミックとは何ですか？24 2024-10

ホットプレスされたSICセラミックとは何ですか？

熱いプレス焼結は、高性能SICセラミックを準備するための主な方法です。熱いプレス焼結のプロセスには、高純度SICパウダーの選択、高温および高圧下でのプレスと成形、および焼結が含まれます。この方法で調製されたSICセラミックは、高純度と高密度の利点があり、ウェーハ処理のために粉砕ディスクと熱処理装置で広く使用されています。
炭化シリコンの結晶成長における炭素ベースの熱野材料の適用21 2024-10

炭化シリコンの結晶成長における炭素ベースの熱野材料の適用

炭化シリコン（SIC）の主要な成長方法には、PVT、TSSG、およびHTCVDが含まれ、それぞれに明確な利点と課題があります。 SICの正確な製造と用途に不可欠な安定性、熱伝導率、および純度を提供することにより、断熱材、るつぼ、TACコーティング、多孔質グラファイトなどの炭素ベースの熱野材料が結晶の成長を促進します。
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