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SiC コーティングされたグラファイト サセプタが故障するのはなぜですか? - ヴェテック・セミコンダクター21 2024-11

SiC コーティングされたグラファイト サセプタが故障するのはなぜですか? - ヴェテック・セミコンダクター

SiC エピタキシャル成長プロセス中に、SiC でコーティングされたグラファイト サスペンションの破損が発生する可能性があります。この論文は、SiC コーティングされたグラファイト サスペンションの破損現象の厳密な分析を実行します。これには、主に SiC エピタキシャル ガス破損と SiC コーティング破損の 2 つの要因が含まれます。
MBE 技術と MOCVD 技術の違いは何ですか?19 2024-11

MBE 技術と MOCVD 技術の違いは何ですか?

この記事では、主に、分子ビームエピタキシープロセスと金属有機化学蒸気堆積技術のそれぞれのプロセスの利点と違いについて説明します。
多孔質炭化物：SIC結晶成長のための新世代の材料18 2024-11

多孔質炭化物：SIC結晶成長のための新世代の材料

VeTek Semiconductor の多孔質タンタルカーバイドは、新世代の SiC 結晶成長材料として、多くの優れた製品特性を備えており、さまざまな半導体処理技術で重要な役割を果たしています。
EPI エピタキシャル炉とは何ですか? - ヴェテック・セミコンダクター14 2024-11

EPI エピタキシャル炉とは何ですか? - ヴェテック・セミコンダクター

エピタキシャル炉の動作原理は、高温高圧下で基板上に半導体材料を堆積することです。シリコンエピタキシャル成長とは、ある結晶方位を持ったシリコン単結晶基板上に、基板と同じ結晶方位で厚みの異なる結晶層を成長させることです。この記事ではシリコンのエピタキシャル成長法である気相エピタキシャル成長法と液相エピタキシャル成長法を中心に紹介します。
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