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太陽光発電産業の開発に伴い、拡散炉とLPCVD炉は太陽電池の生産の主な装備であり、太陽電池の効率的な性能に直接影響します。包括的な製品性能と使用コストに基づいて、炭化シリコンセラミック材料は、石英材料よりも太陽電池の分野でより多くの利点があります。太陽光発電業界でのシリコン炭化物セラミック材料の適用は、太陽光発電企業が補助材料投資コストを削減し、製品の品質と競争力を向上させるのに大いに役立ちます。太陽光発電場における炭化シリコンセラミック材料の将来の傾向は、主に純度が高く、荷重をかける容量が強く、負荷容量が高い、コストが削減されます。

この記事では、材料ソースと純度の制御、プロセスパラメータの最適化、コーティングの密着性、装置のメンテナンスとプロセスの安定性、環境保護とコスト管理など、半導体プロセス中のSiC単結晶成長のためのCVD TaCコーティングプロセスが直面する特定の課題を分析しています。および対応する業界ソリューションも含まれます。

SIC単結晶の成長の用途の観点から、この記事では、TACコーティングとSICコーティングの基本的な物理パラメーターを比較し、高温耐性、強力な化学的安定性、不純物の低下、およびSICコーティングよりもTACコーティングの基本的な利点を説明します。低コスト。

ファブファクトリーには多くの種類の測定装置があります。一般的な機器には、リソグラフィプロセス測定機器、エッチングプロセス測定装置、薄膜堆積プロセス測定装置、ドーピングプロセス測定装置、CMPプロセス測定装置、ウェーハ粒子検出装置、その他の測定装置が含まれます。