窒化アルミニウム(AlN)セラミック静電チャック

財産

AIN-HC95

AIN-HP95

AIN99

AIN999

AIN-HP999

AIN-HP999LR

色

グレー

グレー

グレー

グレー

グレー

グレー

純度

≥95%

≥95%

≥99%

≥99.9%

≥99.9%

≥99.9%

密度 (g/cm3)

3.3

3.3

3.3

3.2

3.3

3.3

吸水率(%)

0

0

0

0

0

0

HV硬度(GPa)

10

10

10

10

10

10

曲げ強さ(MPa)

380

400

350

310

360

310

弾性率 (GPa)

320

300

300

300

300

300

破壊靱性

3

3.4

3

2.8

2.3

3.3

熱膨張係数 (×10⁻⁶/°C)

4.6

5.7

5.2

5.5

5.7

5.4

熱伝導率

180

180

100

90

90

90

熱衝撃 (°C)

400

500

—

—

350

—

絶縁耐力

16

16

—

16

—

—

体積抵抗率

1×10¹⁴

1×10¹⁵

1×10¹⁵

—

1×10¹⁵

調整可能

誘電率

8.6

8.6

8.5

8.5

—

—

パラメータ

代表値/範囲

セラミック素材

窒化アルミニウム(AlN)

ESCタイプ

クーロン/ジョンセン・ラーベック (JR)

電極配置

シングルゾーンまたはマルチゾーン

製造ルート

ホットプレス (高 TC グレードには AlN が好ましい)

クランプ/デクランプ時間

< 0.1 秒 (通常)

ディンプル直径 (最小)

～300μm

接触面（ディンプルあり）

~1%まで削減可能

全体平面度（300mmクラス）

~0.5 ～ 3 μm PV (標準)

クランプ電圧

1 ～ 3 kV 標準。 >15 kV の設計が可能