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CVD TaC コーティング遊星 SiC エピタキシャル サセプターは、MOCVD 遊星リアクターのコア コンポーネントの 1 つです。 CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタにより、大きなディスクが軌道を描き、小さなディスクが回転し、水平流モデルがマルチチップマシンに拡張され、高品質のエピタキシャル波長均一性管理と単一の欠陥最適化の両方を備えています。 VeTek Semiconductor は、高度にカスタマイズされた CVD TaC コーティング遊星型 SiC エピタキシャル サセプタを顧客に提供できます。あなたもAixtronのような惑星型MOCVD炉を作りたいなら、ぜひ私たちに来てください！

SiC コーティング 単結晶シリコン エピタキシャル トレイは、単結晶シリコン エピタキシャル成長炉の重要なアクセサリであり、最小限の汚染と安定したエピタキシャル成長環境を保証します。 VeTek Semiconductor の SiC コーティング単結晶シリコン エピタキシャル トレイは、超長寿命で、さまざまなカスタマイズ オプションを提供します。 VeTek Semiconductor は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

VETEK半導体の固体SICウェーハキャリアは、半導体エピタキシャルプロセスの高温および腐食耐性環境向けに設計されており、高純度要件を持つあらゆる種類のウェーハ製造プロセスに適しています。 Vetek Semiconductorは、中国の主要なウェーハキャリアサプライヤーであり、半導体業界の長期パートナーになることを楽しみにしています。

半導体プロセスでは、ウェーハの輸送が特に重要です。半導体クォーツボートは、ウェーハの輸送に非常に優れており、拡散、酸化、CVDなどのプロセスに適しています。 Vetek Semiconductorは、中国の半導体クォーツボートの大手メーカーおよびサプライヤーであり、高度にカスタマイズされた製品を顧客に提供することができます。

MOCVDのSICコーティングされた衛星カバーは、その極端に高い温度耐性、優れた耐食性耐性、未解決の酸化抵抗により、ウェーハの高品質のエピタキシャル成長を確保する上でかけがえのない役割を果たします。

Vetek Semiconductorは、中国の大手半導体機器メーカーであり、ソリッドSICディスク型のシャワーヘッドの専門メーカーおよびサプライヤーです。ディスクシェイプシャワーヘッドは、反応ガスの均一な分布を確保するためにCVDプロセスなどの薄膜堆積生産で広く使用されており、CVD炉のコアコンポーネントの1つです。