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シリコン炭化物エピタキシーの材料20 2024-06

シリコン炭化物エピタキシーの材料

シリコンカーバイドは、エピタキシャル基質から保護コーティング、電気自動車や再生可能エネルギーシステムまで、包括的な特性を備えた電力および高温用途向けに半導体産業を再構築しています。
シリコンエピタキシーの特性20 2024-06

シリコンエピタキシーの特性

高純度：化学蒸気堆積（CVD）によって成長したシリコンエピタキシャル層は、従来のウェーハよりも非常に高い純度、より良い表面の平坦性、および欠陥密度が低くなっています。
固体炭化シリコンの使用20 2024-06

固体炭化シリコンの使用

ソリッドシリコン炭化物（SIC）は、独自の物理的特性により、半導体製造の重要な材料の1つになりました。以下は、その物理的特性と半導体機器（ウェーハキャリア、シャワーヘッド、エッチングフォーカスリングなど）での特定の用途に基づいたその利点と実用的な価値の分析です。
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