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SIC成長のコア材料は何ですか？

高品質で高収量の炭化シリコンシリコンの調製において、コアには、優れた熱磁場材料による生産温度を正確に制御する必要があります。現在、主に使用されているサーマルフィールドのるつぼキットは、高純度のグラファイト構造成分であり、その機能は溶融炭素粉末とシリコンパウダーを加熱し、熱を維持することです。

第3世代の半導体を見ると、第1世代と第2世代が何であるかを確かに疑問に思うでしょう。ここでの「世代」は、半導体製造で使用される材料に基づいて分類されます。

静電チャック（ESC、E-Chuck）とも呼ばれる静電チャック（ESC）は、静電吸着の原理を使用して吸着材料を保持および固定する備品です。真空およびプラズマ環境に適しています。

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