CVD SiCコーティンググラファイト部品洗浄サービス

1. あなたが直面するかもしれない課題

• AlN 層は除去が困難:1300°C のサーマル クリーニングでは、依然として残留 AlN 層を効果的にエッチングできません。

• 反復記憶効果:表面記憶効果は反応器内のガスの流れを不安定にし、プロセスの一貫性に影響を与えます。

• クリーニングサイクルの影響ts スループット:通常、16 プロセス サイクル (4 ～ 5 個のサセプタ) ごとに外部クリーニングが必要です。

• 高価なコーティングの損傷に関する懸念:社内での化学洗浄の経験が不足しているため、オペレーターは積極的な洗浄を試みることをためらっています。

2. 当社のソリューション – GaN / AlN / AlGaN プロセス向けに設計

• 専門的なクリーニング:CVD SiC コーティングされたグラファイト部品用に特別に開発されたカスタム プロセス。お客様からの化学式の指定は不要です。

• コーティングの安全性:100μmのCVD SiCコーティングを厳重に保護します。洗浄後の厚さの損失は絶対にゼロです。

• 検証可能な結果:5 つの主要な側面をカバーする完全な分析証明書 (COA)。データはアーカイブと品質監査の準備ができています。

3. 5 つの主要な合格基準

半導体エピタキシー ユーザーの重要な要件に厳密に準拠:

1. コーティングロスゼロ– SiC コーティングの厚さは洗浄後に減少しません (前後の厚さの比較検証)。

2. 表面変形なし– 物理的な変形がないことを保証するために、平面度と幾何学的精度が厳密に検査されます。

3. メモリー効果の除去– Al/Ga 残留物の XPS 分析により、メモリ効果の原因が完全に除去されたことが確認されます。

4. 金属残留物ゼロ– Fe、Cu、Ni、その他の金属の ICP-MS テストにより、残留金属不純物がゼロであることが検証されます。

5. 余分な粒子がない– QIII 粒子テストと清浄度検証により、残留粒子によって引き起こされるガス流の不安定性を防ぎます。

4. 納入検査およびCOAレポート

すべてのバッチは、次の 5 つのコア ディメンションにわたる完全な検証データとともに提供されます。

5. 対象製品とプロセスの背景

製品パラメータ

サービスプロセス

1. お問い合わせ– 評価のために部品の写真/モデル/数量を送信します。

2. 見積書– 技術的な評価と見積もり付きの詳細な洗浄提案。

3. 配送– 部品を当社に発送するか、引き取りサービスを手配します。

4. 清掃– 専門的なクリーニング + 完全な多次元検査。

5. 報告– COA レポートが発行され、洗浄された部品が返却されました。

6. フォローアップ– 影響の追跡と継続的な技術サポート。

6.なぜVETEKクリーニングサービスを選ぶのですか?

VETEK は、CVD SiC コーティング技術の深い専門知識と、高価値のグラファイト サセプターに特化した洗浄機能を組み合わせています。当社は、GaN/AlN エピタキシーにおけるコーティングの完全性、粒子制御、およびプロセス純度が非常に重要であることを理解しています。当社のサービスは、メモリ効果とガス流の不安定性の問題を完全に解決しながら、高価な CVD SiC コーティングに絶対的な安全性を必要とするお客様向けに設計されています。

・小ロット検証用の試し洗浄が可能

· 納品ごとに完全な COA レポートが提供される

· コーティングの損傷や新たな汚染のリスクゼロ

· プロフェッショナル · 安全 · 検証可能