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シリコン炭化物セラミックの焼結亀裂の問題を解決する方法は？ -Vetek半導体29 2024-10

シリコン炭化物セラミックの焼結亀裂の問題を解決する方法は？ -Vetek半導体

この記事では、主に炭化シリコンセラミックの幅広いアプリケーションの見通しについて説明しています。また、炭化シリコンセラミックと対応する溶液の焼結亀裂の原因の分析にも焦点を当てています。
ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？25 2024-10

ステップ制御エピタキシャル成長とは何ですか？

エッチング工程の問題点24 2024-10

エッチング工程の問題点

半導体製造におけるエッチングテクノロジーは、製品の品質に影響を与える荷重効果、マイクログルーブ効果、充電効果などの問題にしばしば遭遇します。改善ソリューションには、プラズマ密度の最適化、反応ガス組成の調整、真空システム効率の改善、合理的なリソグラフィレイアウトの設計、適切なエッチングマスク材料とプロセス条件の選択が含まれます。
ホットプレスされたSICセラミックとは何ですか？24 2024-10

ホットプレスされたSICセラミックとは何ですか？

熱いプレス焼結は、高性能SICセラミックを準備するための主な方法です。熱いプレス焼結のプロセスには、高純度SICパウダーの選択、高温および高圧下でのプレスと成形、および焼結が含まれます。この方法で調製されたSICセラミックは、高純度と高密度の利点があり、ウェーハ処理のために粉砕ディスクと熱処理装置で広く使用されています。
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