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物理的蒸気堆積コーティングの原理と技術（1/2）-Vetek半導体

真空コーティングには、フィルム材料の蒸発、真空輸送、薄膜の成長が含まれます。さまざまなフィルム素材の蒸発方法と輸送プロセスによれば、真空コーティングは2つのカテゴリに分類できます：PVDとCVD。

この記事では、Vetek半導体の多孔質グラファイトの物理的パラメーターと製品特性、および半導体処理における特定のアプリケーションについて説明します。

この記事では、複数の観点から炭化物コーティングと炭化シリコンコーティングの製品特性とアプリケーションシナリオを分析します。

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