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CVD TAC コーティングとは何ですか? - ヴェテクセミ

CVD TACコーティングは、基質（グラファイト）に密で耐久性のあるコーティングを形成するプロセスです。この方法では、高温でTACを基質表面に堆積させることが含まれ、優れた熱安定性と耐薬品性を備えた炭化物（TAC）コーティングをもたらします。

8 インチの炭化ケイ素 (SiC) プロセスが成熟するにつれて、メーカーは 6 インチから 8 インチへの移行を加速しています。最近、オン・セミコンダクターとレゾナックは、8 インチ SiC 製造に関する最新情報を発表しました。

この記事では、イタリアの LPE 社が新しく設計した PE1O8 ホットウォール CVD リアクターの最新開発と、200mm SiC 上で均一な 4H-SiC エピタキシーを実行するその能力について紹介します。

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